> 科学小知识 > ,ASML EUV光刻机累计生产450万块晶圆:一台12亿元

,ASML EUV光刻机累计生产450万块晶圆:一台12亿元

,ASML EUV光刻机累计生产450万块晶圆:一台12亿元!最大变更是模块化策画NXE!3400C,便捷越发,小时缩短到8-10小时均匀维修期间将从48,m、5nm援手7n。

日近,相闭EUV的乐趣数据ASML颁布了少少。

2013年实在早正在,V光刻机就投用了ASML EU,是试验、试产性子但头几年从来都,2017年才抵达110万块累计300毫米晶圆产量直到,临盆了90万块2018年又,计已达450万块2019年至今累,正在年复合拉长率高达95%算下来从2016年到现。

机将是EXE!5000系列ASML的下一代EUV光刻,ntel 5nm工艺面向台积电3nm、I,(高数值孔径)透镜引入High NA,转向0。55从0。33,进的创制工艺以结婚更先,23年上市估计20。

实其,UV光刻机也没众少环球已安置投产的E,不外戋戋10台直到2016才,补充了17台2018年,年补充了11台2019年上半,共38台目前总。

,ASML EUV光刻机累计生产450万块晶圆:一台12亿元

型都是NXE!3400B目前投产的EUV光刻机,版NXE!3400C下半年将迎来新的升级,2014年的期间然而每小时智能临盆10块独揽每小时可临盆最众175块300毫米晶圆——。

可以落地商用EUV技巧,ASML(阿斯麦)背后离不开荷兰巨头,墟市依然被他家垄断全数EUV光刻机,工艺节点云云现正在的7nm,mm节点也会云云异日的5nm、3。

目前截至,用了EUV极紫外光刻的商用芯片华为麒麟990 5G是独一应,EUV工艺创制台积电7nm ,5G则运用了三星的7nm EUV工艺而高通刚宣告的骁龙765/骁龙76。

计临盆450万块晶圆:一台12亿原题目:ASML EUV光刻机累元